| 仿生纤毛MEMS矢量流速传感器的结构设计及仿真分析 |
| |
| 引用本文： | 严中稳,刘武,梁贺龙,许海军,訾鹏.仿生纤毛MEMS矢量流速传感器的结构设计及仿真分析[J].航空科学技术,2020,31(2):72-76. |
| |
| 作者姓名： | 严中稳 刘武 梁贺龙 许海军 訾鹏 |
| |
| 作者单位： | 上海交通大学,上海 200240;微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海 200240,上海交通大学,上海 200240;微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海 200240,上海交通大学,上海 200240;微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海 200240,上海交通大学,上海 200240;微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海 200240,上海交通大学,上海 200240;微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海 200240 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;青岛海洋科学与技术国家实验室开放基金;航空科学基金;上海市自然科学基金 |
| |
| 摘 要： |
|
| 关 键 词： | MEMS 纤毛 梳齿 矢量流速传感器 弯曲折叠梁 |
Structural Design and Simulation Analysis of Biomimetic Hair MEMS Vector Flow Sensor |
| |
| Yan Zhongwen,Liu Wu,Liang Helong,Xu Haijun,Zi Peng.Structural Design and Simulation Analysis of Biomimetic Hair MEMS Vector Flow Sensor[J].Aeronautical Science and Technology,2020,31(2):72-76. |
| |
| Authors: | Yan Zhongwen Liu Wu Liang Helong Xu Haijun Zi Peng |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
