| 微电子机械系统的发展与应用 |
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| 引用本文： | 胡雪梅,王宏颖. 微电子机械系统的发展与应用[J]. 西安航空技术高等专科学校学报, 2006, 24(3): 25-27 |
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| 作者姓名： | 胡雪梅 王宏颖 |
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| 作者单位： | 河南工业职业技术学院,电气工程系,河南,南阳,473009 |
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| 摘 要： | 在介绍了微电子机械系统的起源和特点的基础上，对微电子机械系统的加工、封装测试、及应用进行了较全面的论述，提出和展望了其广阔的发展前景。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 微加工技术 封装技术 应用领域 |
| 文章编号： | 1008-9233（2006）03-0025-03 |
| 收稿时间： | 2006-02-16 |
| 修稿时间： | 2006-02-16 |
Development and Application of Microelectronic Mechanical System |
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| HU Xue-mei,WANG Hong-ying. Development and Application of Microelectronic Mechanical System[J]. Journal of Xi'an Aerotechnical College, 2006, 24(3): 25-27 |
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| Authors: | HU Xue-mei WANG Hong-ying |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Microelectronic Mechanical System Processing Technology Sealing Technology Spheres of Application |
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