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| PCVD法工模具表面强化设备的研制 | |
| 引用本文： | 陶冶.PCVD法工模具表面强化设备的研制[J].航空制造技术,1997(4):26-27. |
| 作者姓名： | 陶冶 |
| 作者单位： | 北京航空航天大学 |
| 摘 要： | 介绍了ＰＣＶＤ表面强化设备的发展概况及一种新研制一切的工业生产型ＰＣＶＤ工模具表面强化设备。用该设备可以制备ＴｉＮ系薄膜和ＴｉＳｉＮ，ＴｉＡｌＮ等元系薄膜； |
| 关 键 词： | PCVD设备 工具 模具 表面强化 等离子体涂层 |
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