| 硅谐振微传感器中微现象测量技术 |
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| 引用本文： | 周浩敏,胡芳,兰巍,邢维巍. 硅谐振微传感器中微现象测量技术[J]. 强度与环境, 2002, 29(1): 59-64 |
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| 作者姓名： | 周浩敏 胡芳 兰巍 邢维巍 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学自动化学院,北京,100083 |
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| 基金项目： | 航空基础科学基金 (98I5 10 19)资助项目 |
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| 摘 要： | 主要论述硅谐振微传感器中微现象测量，讨论了微现象测量中有关的技术；激励功率控制，超声频谐振频率的测量，频率特性的测定，品质因数的确定，克服电热效应的不良影响，同频干扰的抑制等。
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| 关 键 词： | 信息处理 微现象测量 谐振微传感器 品质因素 功率控制 |
| 文章编号： | 1006-3919(2002)01-0059-06 |
| 修稿时间： | 2001-02-26 |
Micro Phenomena Measurement to Silicon Resonant Microsensor |
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| ZHOU Hao min HU Fang LAN Wei XING Wei wei. Micro Phenomena Measurement to Silicon Resonant Microsensor[J]. Structure & Environment Engineering, 2002, 29(1): 59-64 |
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| Authors: | ZHOU Hao min HU Fang LAN Wei XING Wei wei |
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| Abstract: | Micro phenomena measurement to silicon resonant microsensor are resented in this paper.The main testing tecnologies are:controling the excitation of the micro structure,measuring the supersonic resonant frequency,testing the freguency characteristic,determining the quality factor,overcomining the blight of electro thermo effect,restraining the capacitor coupled interference. |
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| Keywords: | Information processing Micro phenomena measurement Resonant microsensor |
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