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| 微机电系统的国防应用及其制造技术发展述评（下） | |
| 引用本文： | 饶勤.微机电系统的国防应用及其制造技术发展述评（下）[J].航空维修与工程,1998(4):13-15. |
| 作者姓名： | 饶勤 |
| 作者单位： | 中国航空信息中心 |
| 摘 要： | 微机电系统的国防应用及其制造技术发展述评（下）中国航空信息中心饶勤４微机械制造技术的发展及应用１．微机械制造技术及其应用（１）辅助加工技术包括金刚石微细切削、电火花加工和化学铣削等工艺，这类工艺能以较大的灵活性和较快的速度加工出形状多样的、尺寸在１０... |
| 关 键 词： | 微机电系统 制造技术 微机械 航空工艺 |
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