| 一种叉齿式微硅加速度计的设计与分析 |
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| 引用本文： | 秦君华,董景新.一种叉齿式微硅加速度计的设计与分析[J].宇航学报,2002,23(1):83-86. |
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| 作者姓名： | 秦君华 董景新 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国防科工委重点项目 (8.7.1.1)和 (6A5 .4.3 ) |
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| 摘 要： | 本文介绍了一种适合军民两用市场的、中低精度的叉齿式微硅加速度计的设计和仿真 ,其敏感轴平行于检测质量平面 ,微结构梁采用了折叠梁结构。对这种加速度计的结构参数进行了理论设计和优化选择 ,利用Ansys结构分析软件重点研究了折叠梁结构参数对加速度计固有谐振频率和力学特性的影响。最后给出了一个符合仪表性能要求的微加速度计 ,其中心摆片大小为 1.6 mm× 1.0 mm ,量程为 2 5 g,分辨率为 0 .5× 10 - 3g。
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| 关 键 词： | 叉齿式微硅加速度计 折叠梁结构参数 有限元分析 分辨率 Ansys结构分析软件 |
| 文章编号： | 1000-1328(2002)01-0083-04 |
| 修稿时间： | 2001年3月5日 |
Design and analysis of a multi-finger micromechanical silicon accelerometer |
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| QIN Jun hua,DONG Jing xin.Design and analysis of a multi-finger micromechanical silicon accelerometer[J].Journal of Astronautics,2002,23(1):83-86. |
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| Authors: | QIN Jun hua DONG Jing xin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Multi finger Micromechanical silicon accelerometer Folded beam Finite element analysis(FEA) Resolution |
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