在线测量表面粗糙度的传感器及其应用 |
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引用本文: | Mitsui,K,杨光荣.在线测量表面粗糙度的传感器及其应用[J].宇航计测技术,1992(4):37-43. |
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作者姓名: | Mitsui K 杨光荣 |
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摘 要: | 介绍用于表面粗糙度在线测量的各种非接触光学法,包括反射光位置检测法、聚焦误差检测法、使用光纤和光杠杆的方法。其结果和机械式表面粗糙度轮廓仪所得十分吻合。然而、切屑、润滑液和机床振动会影响在线测量的精度或可行性。
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关 键 词: | 表面粗糙度 光学技术 在线计量学 |
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