| 基于微型铣床的非硅材料中间尺度微细切削加工技术研究 |
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| 引用本文： | 杨志甫,房建国,张霖,黄笑天.基于微型铣床的非硅材料中间尺度微细切削加工技术研究[J].航空精密制造技术,2008,44(1):8-11. |
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| 作者姓名： | 杨志甫 房建国 张霖 黄笑天 |
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| 作者单位： | 北京航空精密机械研究所,北京,100076;南京航空航天大学机电工程学院,南京,210016 |
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| 摘 要： | 在综合考虑各项因素的基础上,研制了一台能够满足三维形貌加工要求的微型铣床,并进行了平面、微槽、微型齿轮、半凹球以及四面体微透镜阵列等各种典型微小特征的铣削工艺试验,体现了该铣床的加工精度和加工能力,证实了微型铣床加工技术的可行性。
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| 关 键 词： | 微型铣床 微细加工 中间尺度 工艺试验 |
| 文章编号： | 1003-5451(2008)01-0008-04 |
| 修稿时间： | 2007年10月23 |
Research on Micro Machining Technology of Non-silicon Material Meso-scale Based on Micro Milling Machine |
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| YANG Zhi-pu,FANG Jian-guo,ZHANG Lin,et al.Research on Micro Machining Technology of Non-silicon Material Meso-scale Based on Micro Milling Machine[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2008,44(1):8-11. |
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| Authors: | YANG Zhi-pu FANG Jian-guo ZHANG Lin |
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| Abstract: | Based on all the factors, a micro milling machine meeting the specification of three-dimensional patterns is developed. Some tests included plane, micro slots, micro gear, micro hemisphere and tetrahedron micro lens were carried on to evaluate the system precision and performance. By these test analysis, the machining performance and meso-scale milling process were proved to be feasible. |
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| Keywords: | micro milling machine micro fabrication meso-scale technics experiment |
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