| 无移动部件微泵的设计、制造及基于微PIV技术的流动测量 |
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| 引用本文： | 王飞,王健,何枫.无移动部件微泵的设计、制造及基于微PIV技术的流动测量[J].实验流体力学,2005,19(3):67-72. |
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| 作者姓名： | 王飞 王健 何枫 |
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| 作者单位： | 清华大学工程力学系,北京,100084;清华大学工程力学系,北京,100084;清华大学工程力学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家高技术发展计划（863计划）资助（2002AA404290）. |
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| 摘 要： | 基于简化微泵加工难度、延长寿命及特殊管道流体特性原理，设计了一种无移动部件微泵。通过数值计算对设计微泵进行优化。用特殊材料PDMS及微机械加工工艺制造出微泵。用微PIV粒子成像技术测量了微泵流场特性及流量。可实现在工作频率．600～2000Hz下，微泵流量为0．01～0．1μL／s。
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| 关 键 词： | 微泵 微PIV技术 PDMS Tesla阀 |
| 文章编号： | 1672-9897（2005）03-0067-06 |
| 收稿时间： | 2004-07-20 |
| 修稿时间： | 2004-09-22 |
Design, fabrication and micro-PIV measurement on no-moving-part micro-pump |
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| WANG Fei,WANG Jian,HE Feng.Design, fabrication and micro-PIV measurement on no-moving-part micro-pump[J].Experiments and Measur in Fluid Mechanics,2005,19(3):67-72. |
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| Authors: | WANG Fei WANG Jian HE Feng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-pump micro-PIV PDMS Tesla valve |
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