|
|||||
|
|
| 动态混合注入与沉积法制备TiN膜层 | |
| 引用本文： | 张华芳,武洪臣,蒋艳莉,马国佳,彭丽平.动态混合注入与沉积法制备TiN膜层[J].航空制造技术,2005(3):88-91. |
| 作者姓名： | 张华芳 武洪臣 蒋艳莉 马国佳 彭丽平 |
| 作者单位： | 北京航空制造工程研究所;北京航空制造工程研究所;北京航空制造工程研究所;北京航空制造工程研究所;北京航空制造工程研究所 |
| 摘 要： | 采用离子注入、沉积、动态混合注入沉积工艺,在硅基体上制备TiN膜层。用纳米划痕法检测成膜质量,用扫描电镜观察划痕形貌。对比分析结果表明,动态混合离子注入沉积工艺对提高膜层与基体的结合性能效果显著。 |
| 关 键 词： | 动态混合离子注入沉积 TiN膜 纳米划痕 结合性能 |
Dynamic Hybrid Injection and Deposition for Preparation of TiN Film |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |