| 大量程纳米分辨率超精密测径仪 |
| |
| 引用本文： | 陈智锋,吕海宝,张绍宗.大量程纳米分辨率超精密测径仪[J].航空精密制造技术,2001,37(4):32-34. |
| |
| 作者姓名： | 陈智锋 吕海宝 张绍宗 |
| |
| 作者单位： | 1. 国防科技大学,
2. 中国航空精密机械研究所, |
| |
| 摘 要： | 提出了一种新型可以测量孔和轴直径的超精密测量仪，该超精密测径仪主要由炫耀光栅和气浮导轨及红宝石探头组成，采用接触式绝对测量方法。介绍了环境温度的控制和减小环境振动的手段，以保证测量的精度和重复性。这种新型测径系统分辨率可以达到1nm,量程范围可达 0～100mm。
|
| 关 键 词： | 超精密 炫耀光栅 直径测量 |
| 文章编号： | 1003-5451-2001(04)-32-03 |
| 修稿时间： | 2001年2月19日 |
A Novel Wide Range Nano- resolution Ultra- precise Diameter Measurement Instrument |
| |
| Chen Zhifeng, Lu Haibao, Zhang Shaozong.A Novel Wide Range Nano- resolution Ultra- precise Diameter Measurement Instrument[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2001,37(4):32-34. |
| |
| Authors: | Chen Zhifeng Lu Haibao Zhang Shaozong |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | ultra-precision blazed grating diameter measurement |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
