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等离子体源离子注入技术及其应用

引用本文：	夏立芳.等离子体源离子注入技术及其应用[J].航天出国考察技术报告,1994(1):150-155.

作者姓名：	夏立芳

摘要：
关键词：	离子注入离子束注入等离子体源金属表面处理
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