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| 雷尼绍推出全新轻型激光干涉仪测量系统XL-80 | |
| 摘 要： | 在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年来，随着自动化位移系统性能的大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求。第一段] |
| 关 键 词： | 干涉仪测量系统 激光干涉仪 轻型 位移系统 激光系统 超精密 自动化 加工业 |
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