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微纳力值测量技术发展现状与分析
引用本文:
钟山,高炳涛,岑格,王小三,任大呈.微纳力值测量技术发展现状与分析[J].宇航计测技术,2021(6):68-75.
作者姓名:
钟山
高炳涛
岑格
王小三
任大呈
摘 要:
介绍了近年来微纳力值测试技术的发展现状.微纳力值测量方法、测量及研究成果,并进行了不同测试方法的对比,指出了不同测试方法的特点和适用性.基于当前微纳测量领域发展趋势,结合行业发展需求,提出了微纳力值测试技术研究应注意的问题.
关 键 词:
微纳力值
测量技术
测量不确定度
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