| 基于双电测组合法半导体材料电阻率测试仪的研制 |
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| 引用本文： | 晏敏,徐仁伯,章兢,侯志春,何敏.基于双电测组合法半导体材料电阻率测试仪的研制[J].宇航计测技术,2008,28(2):50-53. |
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| 作者姓名： | 晏敏 徐仁伯 章兢 侯志春 何敏 |
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| 作者单位： | 1. 湖南大学,物理与微电子学院,长沙,410082
2. 湖南大学,电气与信息工程学院,长沙,410082 |
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| 摘 要： | 采用双电测组合法设计了一款用于测试半导体材料方块电阻和体电阻率的测试仪,它是以凌阳单片机SPCE061A为控制核心,通过冗余通道法、PID算法和平均滤波法,提高了系统的测量准确度和智能化水平.实际运行结果表明:与传统直流四探针测试法相比,该双电测试法测量结果与探针间距无关,能自动修正边界误差和量程的转换,还可以测量材料的匀均性,较好地满足了生产与教学需要.
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| 关 键 词： | 双电测组合法 半导体材料 电阻 电阻率 测量仪表 电测 组合法 半导体 材料电阻率 测试仪 Tester Type Conductivity Resistivity Semiconductor Material 教学需要 生产 测量材料 转换 量程 边界误差 修正 自动 间距 四探针测试法 |
| 文章编号： | 1000-7202(2008)02-0050-04 |
| 修稿时间： | 2007年12月31 |
The Development of Semiconductor Material Resistivity and Conductivity Type Tester |
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| YAN Min,XU Ren-bo,ZHANG Jing,HOU Zhi-chun,HE Min.The Development of Semiconductor Material Resistivity and Conductivity Type Tester[J].Journal of Astronautic Metrology and Measurement,2008,28(2):50-53. |
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| Authors: | YAN Min XU Ren-bo ZHANG Jing HOU Zhi-chun HE Min |
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