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| 超轻负荷触针式表面测量仪 | |
| 引用本文： | 周菊芳.超轻负荷触针式表面测量仪[J].航空精密制造技术,1993(5). |
| 作者姓名： | 周菊芳 |
| 摘 要： | 日本NTT电子应用研究所开发了一种超轻负荷触针式表面测量仪(CPM),它与一般此类测量仪相比较,触针尖端半径减小到数十分之一,负荷减轻了3位数,试件由与STM(扫描隧道显微镜)相同的三向压电元件来驱动,试件表面与安装在平行支撑的弹簧片上的触针相接触.支撑弹簧片的挠曲量用光学测头检出,试件位移由压 |
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