两米光栅——线纹自动测量仪(一) |
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作者姓名: | 牛立新 任冬梅 |
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作者单位: | 北京市长城计量测试技术研究所!北京市,100095 |
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摘 要: | 描述了一台能够对长度达1m的线纹尺和长度达2m的光栅尺(线位移传感器)进行测量的激光干涉仪,干涉仪设计成了双干涉光路系统,以消除光栅尺安装引入的阿贝误差,这台测量仪采用干涉条纹计量原理,对光栅尺和线纹尺的线值精度进行检测,并能对光机信号的质量进行评价。测量过程中,对空气折射率实现了实时修正。
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关 键 词: | 光栅线 位移传感器 线纹尺 干涉仪 计量光栅 |
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