| 多孔复合微结构的制备与减反射性能 |
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| 引用本文： | 王 威 沈鸿烈 吕红杰 等. 多孔复合微结构的制备与减反射性能[J]. 南京航空航天大学学报, 2013, 45(1): 147-151 |
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| 作者姓名： | 王 威 沈鸿烈 吕红杰 等 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学材料科学与技术学院;南京航空航天大学纳米智能材料器件教育部重点实验室 |
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| 基金项目： | 南京航空航天大学研究生创新基地(实验室)开放基金(KFJJ20110109)资助项目;中央高校基本科研业务费专项资金资助项目;江苏高校优势学科建设工程资助项目 |
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| 摘 要： | 主要研究了多孔-金字塔和多层多孔-金字塔两种多孔复合微结构的减反射性能。多孔-金字塔是将带有金字塔结构的单晶硅片置于HF/Fe(NO3)3溶液中二次化学腐蚀得到的,而多层多孔-金字塔复合微结构是将带有金字塔结构的单晶硅片置于HF/CH3CH2OH溶液中二次电化学腐蚀得到的。用扫面电镜和UV-vis-NIR分光光度计分别分析了这两种复合结构的表面形貌和反射率。结果表明,在400~800 nm波长范围内,多孔-金字塔和多层多孔-金字塔复合微结构的平均反射率分别为5%和2.1%。多孔-金字塔微结构表面的孔洞较大,表面的金字塔有少量的塌陷,但多层多孔-金字塔微结构表面的孔洞细小且覆盖均匀,表面的金字塔基本上保持完好。通过比较,电化学方法制备的多层多孔-金字塔复合微结构的减反射效果要优于采用化学腐蚀制备的多孔-金字塔复合微结构的减反射效果。
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| 关 键 词： | 多孔-金字塔 多层多孔-金字塔 复合微结构 反射率 |
Fabrication and Antireflective Properties of Porous Binary Microstructures |
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| Wang Wei,Shen Honglie,Lü Hongjie,Yue Zhihao. Fabrication and Antireflective Properties of Porous Binary Microstructures[J]. Journal of Nanjing University of Aeronautics & Astronautics, 2013, 45(1): 147-151 |
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| Authors: | Wang Wei Shen Honglie Lü Hongjie Yue Zhihao |
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| Affiliation: | 1(1.College of Materials Science and Technology,Nanjing University of Aeronautics & Astronautics,Nanjing,210016,China;2.Key Laboratory for Intelligent Nano Materials and Devices of the Ministry of Education,Nanjing University of Aeronautics & Astronautics,Nanjing,210016,China) |
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