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| 用离子束辅助沉积(IBAD)工艺制备TiCxNy膜的研究 | |
| 引用本文： | 宇航材料工艺.用离子束辅助沉积(IBAD)工艺制备TiCxNy膜的研究[J].宇航材料工艺,1999,29(5):17. |
| 作者姓名： | 宇航材料工艺 |
| 作者单位： | ：(四川大学原子核科学技术研究所,教育部辐射物理及技术开放研究实验室 成都 610064) |
| 摘 要： | |
| 修稿时间： | :1998－07－2 |
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