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| 基于CFD的CVD布气装置模拟与优化设计 | |
| 引用本文： | 王毅,杨晓辉,白龙腾.基于CFD的CVD布气装置模拟与优化设计[J].火箭推进,2014(3):46-51. |
| 作者姓名： | 王毅 杨晓辉 白龙腾 |
| 作者单位： | 西安航天动力研究所 |
| 摘 要： | 采用流体力学有限元模拟方法,对化学气相沉积(CVD)设备系统内流场进行模拟分析,得到平板布气装置中孔径尺寸、孔径分布与预制体局部流场之间的关系,由此优化设计了布气装置,提高了CVD设备布气的均匀性和稳定性。 |
| 关 键 词： | CFD 布气装置 CVD |
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