超精密加工环境技术的现状和发展

超精密加工精度由亚微米发展到纳米级,已接近工程材料的原子、分子尺寸;对环境的要求十分严格,洁净、减振、隔振、恒温、恒湿、抗电磁干扰等是加工的必要的环境条件。