| 基于微机电系统技术的分立式微变形镜 |
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| 引用本文： | 乔大勇,刘耀波,王松洁,程步青,苑伟政.基于微机电系统技术的分立式微变形镜[J].航空精密制造技术,2010,46(4). |
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| 作者姓名： | 乔大勇 刘耀波 王松洁 程步青 苑伟政 |
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| 作者单位： | 西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072 |
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| 摘 要： | 从光学性能仿真和结构版图设计两方面对基于微机电系统技术的分立式微变形镜进行了研究。以符合柯尔莫哥洛夫湍流统计理论的大气随机波前作为被校正对象,对方形排列、砖形排列和蜂窝形排列的三种分立式微变形镜进行了面形函数构建与波前校正仿真;从单元数量、控制电极、释放孔、弹性支撑梁和寻址线等方面给出了分立式微变形镜的结构、版图设计准则;最终采用两层多晶硅表面牺牲层工艺完成了一种方形排列37单元分立式微变形镜的制备,并对其镜面光学质量和电压-位移曲线进行了测试。
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| 关 键 词： | 微机电系统 自适应光学 表面牺牲层工艺 分立式微变形镜 |
Segmented Micro Deformable Mirrors Based on MEMS Technology |
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