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| 新型超精密平面磨削微量进给装置的研制及其特性研究 | |
| 引用本文： | 葛根焰,李圣怡,杨辉,徐亚辉.新型超精密平面磨削微量进给装置的研制及其特性研究[J].航空精密制造技术,1998(4). |
| 作者姓名： | 葛根焰 李圣怡 杨辉 徐亚辉 |
| 作者单位： | 国防科技大学机械电子工程系 |
| 摘 要： | 介绍了一种用于超精密平面磨削的新型微量进给装置并对其静、动态特性及控制方法进行了研究。实验结果表明：该装置的位移分辨率为１０ｎｍ，重复精度可达００５μｍ。采用“速度前馈＋ＰＩＤ”控制方法后，系统动态特性得到显著提高。 |
| 关 键 词： | 超精密平面磨削 压电陶瓷 微量进给装置 空气静压轴承 前馈控制 |
The Manufacture of A New Super-precision Grinding Micro-drive Unit and Its Characteristics |
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| Ge Gengyan,Li Shengyi,Yang Hui et al.The Manufacture of A New Super-precision Grinding Micro-drive Unit and Its Characteristics[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,1998(4). | |
| Authors: | Ge Gengyan Li Shengyi Yang Hui |
| Abstract: | |
| Keywords: | super-precision grinding piezoelectric ceramic micro-drive unit air static-pressure bearing feed forward control |
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