| 用准单色光散射法测量中等以上精度表面粗糙度 |
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| 引用本文： | 严慎,张鄂.用准单色光散射法测量中等以上精度表面粗糙度[J].宇航计测技术,1990(6). |
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| 作者姓名： | 严慎 张鄂 |
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| 作者单位： | 上海交通大学 博士研究生(严慎)，上海交通大学 教授(张鄂) |
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| 摘 要： | 提出一种通过对远场散射光分布的统计分析来测量中等以上精度表面粗糙度的新方法。采用半导体激光器作为光源,并使用一维 CCD 器件来探测散射光分布。实验结果表明,在 R_a≤2.2μm 的范围内,远场归一化散射光分布的标准偏差(σ)与标准粗糙度参数 R_a 之间有很好的相关关系。
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| 关 键 词： | 光散射 半导体激光器 表面粗糙度 电荷耦合器件 非接触测量 |
Measuring roughness of medium or high precision surfaces by scattering of quasimonochromatic light |
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| Yan Shen Zhang E.Measuring roughness of medium or high precision surfaces by scattering of quasimonochromatic light[J].Journal of Astronautic Metrology and Measurement,1990(6). |
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| Authors: | Yan Shen Zhang E |
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| Institution: | Yan Shen Zhang E |
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| Keywords: | Light scattering Laser-diode Surface roughness Chargecoupled device Contactless measurement |
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