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| NIST检测氦离子显微镜技术 | |
| 摘 要： | 美国国家标准和技术研究院（NIST）的研究人员正在检测最新的显微镜技术。该技术能够进一步提高纳米级物体测量的精确度，而更精确的纳米级测量对半导体和纳米制造业确定标准和改进产品具有十分重要的意义： |
| 关 键 词： | 显微镜技术 NIST 检测 氦离子 美国国家标准 纳米级测量 研究人员 物体测量 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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