| 扫描探针显微镜扫描器运动误差的研究 |
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| 引用本文： | 刘安伟,禹国强,齐鹏,胡小唐.扫描探针显微镜扫描器运动误差的研究[J].航空精密制造技术,1998(4). |
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| 作者姓名： | 刘安伟 禹国强 齐鹏 胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学精密仪器与光电子工程学院 |
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| 摘 要： | 对由压电陶瓷的压电误差造成的扫描探针显微镜扫描器的运动误差进行了较详细的实验研究和理论分析，分析了各项误差的产生原因及其实验现象，据此可对误差进行判断和修正。
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| 关 键 词： | 扫描探针显微镜 扫描器 压电误差 |
A Study on the Movement Errors of the SPM Scanner |
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| Liu Anwei,Yu Guoqiang,Qi Peng et al.A Study on the Movement Errors of the SPM Scanner[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,1998(4). |
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| Authors: | Liu Anwei Yu Guoqiang Qi Peng |
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| Abstract: | The piezoelectric errors of the piezoelectric ceramic cause the movement errors of the Scanning Probe Microscope(SPM)scanner This paper analyzes these errors theoretically and experimentally and indicates some measures to identify and modify them |
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| Keywords: | SPM scanner piezoelectric errors |
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