| 基于超精密应用的高刚度高阻尼空气静压导轨研究 |
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| 引用本文： | 王贵林,李圣怡,粟时平.基于超精密应用的高刚度高阻尼空气静压导轨研究[J].航空精密制造技术,2001,37(6):1-4. |
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| 作者姓名： | 王贵林 李圣怡 粟时平 |
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| 作者单位： | 国防科学技术大学, |
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| 摘 要： | 介绍了一种采用多孔质节流的新型空气静压导轨,其刚度可以达到400N/μm或者更高,具有这种刚度的空气静压导轨可以取代液体静压导轨,广泛应用于超精密机床中.
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| 关 键 词： | 超精密 空气静压导轨 多孔质节流 表面节流 |
| 文章编号： | 1003-5451(2001)06-01-04 |
| 修稿时间： | 2001年5月28日 |
A Study on Aerostatic Slider with High Stiffness and High Damping for Ultraprecision Applications |
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| Wang Guilin,Li Shengyi,Su Shiping.A Study on Aerostatic Slider with High Stiffness and High Damping for Ultraprecision Applications[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2001,37(6):1-4. |
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| Authors: | Wang Guilin Li Shengyi Su Shiping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ultraprecision aerostatic slider porous restriction surface restriction |
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