摘 要: | 一、概述微电流测试仪的最高分辨力已达10~(-17)A,不确定度在百分之几数量级。用于校准微电流测试仪器的微电流源主要有三种类型:电阻式、电容式和电离式。电阻式直流微电流源由可调参考电压源和一系列高阻组成,具有结构简单和能持续输出(t—∞)的优点,但由于高阻的稳定性差,这种微电流源的不确定度不太高。目前,电阻式微电流源在10~(-13)A输出时,不确定度只能达到百分之几数量级。电容式微电流源以线变电压发生器和微分电容为基础,采用微分线变电压原理实现微小电流输出。这种微电流源在10~(-13)A
|