|
|||||
|
|
| 大口径连续位相板拼接检测技术研究 | |
| 引用本文： | 柴文松,季鹏,王波,张海涛,李铎.大口径连续位相板拼接检测技术研究[J].航空精密制造技术,2022(5):6-11. |
| 作者姓名： | 柴文松 季鹏 王波 张海涛 李铎 |
| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学机电工程学院;2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（51905130）；;应用光学国家重点实验室开放基金课题（SKLAO2002100IA05）； |
| 摘 要： | 区别于传统平面拼接检测方式，将空间六自由度应用于连续位相板拼接检测，建立数学模型，通过最小二乘的方式实现孔径拼接融合，完成连续位相板的检测，恢复其波前特征。本文通过仿真分析该方法的精度，并搭建机械检测装置完成子孔径数据采集，对加工的连续位相板进行实验验证。通过仿真分析，拼接面形误差RMS约为0.0006λ，实验结果显示100mmCPPs，拼接面形误差RMS约为0.0143λ，子孔径拼接波前数据结果与全口径检测数据可以达到很好的一致性。 |
| 关 键 词： | 光学测量 大口径连续位相板 子孔径拼接 波前干涉检测 |