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| 特种器件与微细加工 | |
| 引用本文： | 郝玉泉 ,伍克军.特种器件与微细加工[J].航天制造技术,1984(4). |
| 作者姓名： | 郝玉泉 伍克军 |
| 摘 要： | 随着科学技术特别是电子技术的飞跃发展,过去的那些系统与器件的概念已不完全适用,它们之间的界限变得模糊不清,今天的器件可以说就是昨天的系统,而今天的系统又会成为明天的器件。那么,今天的电子技术发展的方向是什么?就是微型化、固态化、集成化和高可靠。在这个发度进程中,微细加工技术起着关键性作用,没有微细加工技术就没有大规模或超大规模集成电路,没有微细加工技术就没有能实现各种系统特殊功能的各种特种器件,没有微细加工技术就没有新技术革命。 什么是微细加工呢?简单地说,它是六十年代发展起来的,涉及学科门类多,综合性强的一… |
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