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碳化硅反射镜柔带磨削方案设计与验证
作者姓名:
宫 辉
张志刚
练敏隆
张一凡
曹东晶
作者单位:
北京空间机电研究所
摘 要:
碳化硅材料比刚度高、导热性好、热稳定性好,是一种优良的反射镜材料,在空间光学遥感器是有着广泛的使用。同时,它具有硬度高、脆性大的特点,给反射镜加工带来困难,且加工周期长。本文比较了碳化硅材料不同加工技术的优缺点,选择了机器人柔性砂带磨削技术作为研究对象。针对某1550mm直径碳化硅反射镜坯加强筋的去除要求,设计了一套新型机器人柔带磨削系统,利用有限元方法对加工中的镜体应力进行了分析,并完成了某镜坯加强筋的去除,残余筋高度0.5mm~1mm。反射镜镜坯在完成镜面精磨、镀膜等处理后,利用干涉仪测试面形RMS 为0.0157λ(λ=632.8 nm),满足使用需求。遥感器于2020年发射,反射镜在轨运行表现良好。
关 键 词:
碳化硅
反射镜
磨削
机器人
柔带
Design and Verification of Soft Belt Grinding Scheme for Silicon Carbide Mirror
Authors:
GONG Hui
ZHANG Zhigang
LIAN Minlong
ZHANG Yifan
CAO Dongjing
Institution:
Beijing Institute of Space Mechanics & Electricity
Abstract:
Keywords:
SiC
mirror
grinding
robot
soft belt
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