高稳定、高精度、小型化传感器发展的新趋势

新工艺新功能材料与微电子技术是传感器发展的三大基础技术。本领域的主要关键技术是有限元分析计算软件与CAD设计系统,异型构件的坯件制造、精密微细加工技术,新的联结与封装技术等几个方面,简介了若干实例。