MEMS陀螺工作原理及其性能提升方法

MEMS陀螺是一种应用广泛的新型微惯性传感器，可实现高精度、小体积、抗干扰性强的角速度测量，被广泛应用于航空航天、平台钻井、自动驾驶、可穿戴设备以及手机中。近年来，随着对MEMS陀螺研究的不断深入，许多新型MEMS陀螺的工作原理被提出，由于测量原理的不同，其性能差异往往很大。本文旨在解决对MEMS陀螺的工作模式缺少系统性综述的问题，根据陀螺最终的读出技术，将MEMS陀螺的工作模式分为调幅、全角以及调频模式。在系统介绍其工作原理的基础上，详细讨论了各种工作模式下MEMS陀螺的性能提升方法。最后还介绍了各类MEMS陀螺的发展趋势，并结合各模式特性对MEMS陀螺的发展做出了展望。