激光球面干涉定位和凹球径测量

本文就激光球面干涉测量中凹球面干涉定位问题进行了探讨。指出球面干涉定位误差与聚焦物镜数值孔径N.A.的平方成反比。为获得较高的定位精度,在聚焦物镜的最佳成象位置上的整个波面象差应控制在1/100λ到1/200λ之间。 介绍了研制成功的激光凹球面干涉头,其干涉定位误差达土0.6μm左右。它既可装于SIP生产的三坐标测量机上测量150mm以内的凹球径,测量精度±1.5μm,又可装在专用激光球面干涉仪上测量20mm以内的凹球径,测量精度为±O.83μm。