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| 基于铬膜玻璃的光刻精缩系统的研究与实现 | |
| 摘 要： | 文章提出了一种利用数字微反射镜进行数字掩模光刻成像,以铬膜玻璃为基板,在其上面制作二元光学掩模。将设计好的CAD电脑图形以后缀为bmp文件格式输出,导入到基于DMD的数字掩模成像系统,经过曝光、显影、定影、蚀刻及去胶工艺即可得到需要的掩模。此掩模可用于精缩投影系统,在晶圆片上得到比掩模图形小得多的图案,以达到高分辨率的要求。 |
Research and Implementation of Lithography Condensate System Based on Chrome Coating Glass |
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