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退火气氛对ZnO:Al薄膜光学、电学和微结构的影响

作者单位：	中国航发北京航空材料研究院,北京 100095;北京市先进运载系统结构透明件工程技术研究中心,北京 100095

摘要：
关键词：	ZnO:Al薄膜退火载流子浓度禁带宽度
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