小量程窄带宽石英微加速度计敏感元件设计

为满足对振动环境下10Hz以下低频小量程加速度信号的高精度测量需求,设计一种具有窄带宽特点的新型石英MEMS加速度计敏感元件。敏感元件采用变间距式差分电容梳齿结构,基于石英微工艺制作。采用有限元分析手段,对敏感元件质量块尺寸、梳齿长度、梁刚度、止挡与盖板结构等参数进行综合优化设计。仿真结果显示,敏感元件带宽8.9Hz,止挡与盖板结构可以有效提升抗过载及振动能力,设计可以满足飞行器振动环境下小量程低频加速度参数测量需求。