| 超光滑表面清洗技术现状及发展趋势 |
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| 引用本文： | 王宇,蔡亚梅,滕霖.超光滑表面清洗技术现状及发展趋势[J].航空精密制造技术,2003,39(2):1-4. |
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| 作者姓名： | 王宇 蔡亚梅 滕霖 |
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| 作者单位： | 西安飞行自动控制研究所,西安,710065 |
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| 摘 要： | 论述了目前超光滑表面清洗的基本理论,常用清洗工艺及清洗方法,最后对清洗技术的发展前景进行了展望。
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| 关 键 词： | 超光滑表面 清洗技术 |
| 文章编号： | 1003-5451(2003)02-01-04 |
| 修稿时间： | 2002年9月12日 |
Status and Trends of Cleaning Technology for Superpolished Surfaces |
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| Wang Yu,Cai Yamei,Teng Lin.Status and Trends of Cleaning Technology for Superpolished Surfaces[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2003,39(2):1-4. |
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| Authors: | Wang Yu Cai Yamei Teng Lin |
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| Abstract: | Fundamental theory of superpolished surface cleaning,conventional cleaning techniques and cleaning methods are discussed.Development tendency of cleaning technology is p rospected. |
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| Keywords: | superpolished surface cleaning technology |
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