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关于圆光栅精度评定的意见
作者姓名:
孙方金
摘 要:
一、存在问题目前圆光栅的精度采用单项指标的表达方法,即分别规定最大直径间隔误差、均匀性与封闭差。而对这三项误差如何积累,并没有固定的规律与公式。这样在设计时误差分配比较困难,要求过严,刻划难度增加;反之又担心误差积累降低精度。在工艺上容易产生由于一项指标超差,把能用的光栅报废。例如:有二块光栅,一块光栅虽是合格品,但三项指标都已接近极限,另一块直径误差与封闭差都远比
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