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用于激光测振的聚焦扫描系统
引用本文:娄鑫鑫,李华丰.用于激光测振的聚焦扫描系统[J].航空计测技术,2015(2):19-22.
作者姓名:娄鑫鑫  李华丰
作者单位:中航工业北京长城计量测试技术研究所计量与校准技术重点实验室
基金项目:国家重大科学仪器设备开发专项(2014YQ350461)
摘    要:针对单点式激光测振仪在测量中的缺陷,本文提出了一种聚焦扫描的测量方式。利用三个步进电机实现对聚焦扫描的控制,其中一个电机控制透镜的移动实现变焦,另外两个电机控制平面镜转向实现光斑位置的移动。设计了聚焦扫描算法,通过实验验证了该方法的实用性。

关 键 词:激光测振仪  聚焦扫描  步进电机
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