薄膜式铂电阻温度传感器

本文介绍一种在70年代发展起来的簿膜式电阻温度传感器。它是采用高频溅射将铂簿膜粘附在基底表面,经光刻、焊接、调阻、上保护胶后进行温度特性标定,制成了尺寸小、精度高、反应快,可作表面温度测量、瞬态温度变化及热流测量的新型测试元件。