| (001)SiO2衬底上LiNbO3光波导薄膜的制备 |
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| 引用本文： | 徐国跃,郭新立,刘俊明.(001)SiO2衬底上LiNbO3光波导薄膜的制备[J].南京航空航天大学学报,1999,31(2):223-226. |
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| 作者姓名： | 徐国跃 郭新立 刘俊明 |
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| 作者单位： | 1. 南京航空航天大学材料科学与工程系,南京,210016
2. 南京大学物理系,南京,210093 |
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| 摘 要： | 采用脉冲激光淀积技术，在（００１）取向的ＳｉＯ２衬底上制备了ＬｉＮｂＯ３薄膜。为了防止淀积过程缺氧，往淀积腔内充入１０～１５Ｐａ的流动氧气，淀积速度０．３～１．０ｎｍ／ｍｉｎ，淀积时间１ｈ，淀积结束后，充入０．６Ｐａ的氧气，在６５０℃保温０．５ｈ。采用ｘ射线衍射和扫描电镜对ＬｉＮｂＯ３薄膜的微观结构及表面形貌进行了检测。结果表明：ＬｉＮｂＯ３薄膜具有（０１２），（０２４）典型的ＬｉＮｂＯ３粉末晶体衍射峰，薄膜成分晶体结构比较纯净，而且薄膜表面光滑。利用棱镜耦合法将波长为０．６３８μｍ的激光束耦合到ＬｉＮｂＯ３薄膜中，观察到ＬｉＮｂＯ３薄膜具有较好的光波导性能，可望应用于非线性光学器件
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| 关 键 词： | 脉冲激光器 光波导 淀积 光波导薄膜 |
Preparation of LiNbO3 Optical Waveguide Films on (001) SiO2 Substrate |
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| Xu Guoyue,Guo Xinli,Liu Junming.Preparation of LiNbO3 Optical Waveguide Films on (001) SiO2 Substrate[J].Journal of Nanjing University of Aeronautics & Astronautics,1999,31(2):223-226. |
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| Authors: | Xu Guoyue Guo Xinli Liu Junming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LiNbO3(LN) |
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