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| 基于静态累积法的极小气体流量测量研究 | |
| 作者姓名： | 冯天佑 成永军 陈联 赵澜 孙冬花 张瑞年 |
| 摘 要： | 通过静态膨胀法与固定流导法获得了(10-9～10-14)Pam3/s的氦标准气体流量,并采用静态累积法对所产生的极小气体流量进行了测量,相应的氦离子流上升率在(10-10～10-15)A/s范围.实验结果表明:气体流量静态累积时的离子流波动随流量降低逐渐增大,降至1.69×10-14 Pam3/s时,多个数据点已偏离上... |
| 关 键 词： | 极小气体流量 静态累积法 测量下限 非线性现象 |
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