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| 宽频谱表面轮廓形貌干涉检测技术进展 | |
| 作者姓名： | 高志山 赵雨晴 马剑秋 袁群 |
| 摘 要： | 中国先进制造业发展很快.其中,光学元件制造向尺度愈来愈大(单体直径达数米)和愈来愈小(尺度在微纳米量级)极端方向发展,对非接触式光学检测技术带来新的挑战,本文以光学表面宽频谱轮廓形貌的检测技术及仪器为例,分析国内外的发展概貌与趋势,展现了中国自主研发的系列光学干涉检测仪器成果,对于解决卡脖子问题,具有科学意义. |
| 关 键 词： | 表面轮廓 空间频率 光学检测 光干涉计量 |
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