新型高度对称压电式三轴加速度计的结构与仿真

单片压电式加速度计采用对称四边梁结构，中间放置一个检测质量块，定性与定量分析加速度计算结构，用定元法模拟静态模式，模拟分析不同加速度计的机械响应，模拟结果显示该加速计可以传感三个轴向模拟加速度，理想状态下X、Y、Z-轴向灵敏度约为21mv/g,15mv/g,和15mv/g。并且耦合灵敏度近似为零，与理论计算相符。某些结构优化后还能改善加速度计的性能。