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| 基于微机电系统的微推进发展新趋势 | |
| 引用本文： | 尤政,林杨,张高飞.基于微机电系统的微推进发展新趋势[J].中国航天,2005(6):12-15. |
| 作者姓名： | 尤政 林杨 张高飞 |
| 摘 要： | 纳皮型卫星和卫星编队飞行的发展,对星上推进系统提出了更高的要求,基于微机电系统(MEMS)技术的微型推进系统以此为契机迅速发展起来。基于MEMS技术的微推进除了具有成本低、体积小、质量轻等优点之外,还具有很高的集成度。它利用MEMS加工技术,能将推进系统的推进剂、贮箱、喷嘴、阀门、推进剂进给系统,以及某些微传感器和执行器,甚至控制电路都集成在一个或几个硅片上,再通过键合等微连接装配技术将这些MEMS器件组装在一起,形成功能完善、稳定性高的集成微推进系统。目前国内外对集成式微推进的相关研究大部分都处于设计和试验阶段。随着MEMS技术的不断发展和进步,集成式微推进技术将日趋成熟,并最终广泛应用于微小卫星领域。 |
| 关 键 词： | 发展新趋势 微机电系统（MEMS） MEMS技术 推进系统 卫星编队飞行 MEMS器件 加工技术 进给系统 微传感器 控制电路 装配技术 相关研究 推进技术 微小卫星 推进剂 集成式 成本低 体积小 集成度 执行器 微连接 形成功 稳定性 |
New Trend of MEMS-Based Micro-Thrusters |
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