| 冶金法提纯多晶硅退火工艺优化的数学模型分析与试验验证 |
| |
| 引用本文： | 朱徐立,徐隆,苏骑,吴虹琼.冶金法提纯多晶硅退火工艺优化的数学模型分析与试验验证[J].宇航材料工艺,2019,49(4):23-27. |
| |
| 作者姓名： | 朱徐立 徐隆 苏骑 吴虹琼 |
| |
| 作者单位： | 1.厦门城市职业学院机械与自动化工程系,厦门 361000;2.美甘齐动(厦门)物料输送工程股份有限公司,厦门 361000;3.厦门理工学院软件工程学院,厦门 361000 |
| |
| 基金项目： | 福建省中青年教师教育科研项目
JAT171051
福建省中青年教师教育科研项目（JAT171051） |
| |
| 摘 要： | 冶金法制备多晶硅过程中,通过对不同退火温控方案进行数学建模,探求优化的退火理论温度控制函数与曲线。数学模型表明,对硅铸锭直接进行保温,依靠自然热平衡退火,会使内部应力大于产生位错的临界应力;采用加热元件对硅铸锭适当加热保温可减缓降温速率。通过比较,选择较低的退火温度1 236℃和较短的退火时间8.52 ks作为试验退火温控方案。试验验证表明,该退火方案得到的多晶硅铸锭目视裂纹较少,少数载流子寿命与电阻率具有明显优势。
|
| 关 键 词： | 多晶硅 冶金法 退火 建模 试验 |
| 收稿时间： | 2018/9/24 0:00:00 |
Mathematical Model Analysis and Experimental Verification of Polycrystalline-Silicon Annealing Optimization by Metallurgical Method |
| |
| ZHU Xuli,XU Long,SU Qi,WU Hongqiong.Mathematical Model Analysis and Experimental Verification of Polycrystalline-Silicon Annealing Optimization by Metallurgical Method[J].Aerospace Materials & Technology,2019,49(4):23-27. |
| |
| Authors: | ZHU Xuli XU Long SU Qi WU Hongqiong |
| |
| Institution: | (Department of Mechanical and Automation Engineering,Xiamen City University,Xiamen 361000;Xiamen MEGA PCE,Inc,Xiamen 361000;Software Engineering Institute,Xiamen University of Technology,Xiamen 361000) |
| |
| Abstract: | ZHU Xuli;XU Long;SU Qi;WU Hongqiong(Department of Mechanical and Automation Engineering,Xiamen City University,Xiamen 361000;Xiamen MEGA PCE,Inc,Xiamen 361000;Software Engineering Institute,Xiamen University of Technology,Xiamen 361000) |
| |
| Keywords: | Polycrystalline-silicon Metallurgical method Annealing Mathematical modeling Experiment |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《宇航材料工艺》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《宇航材料工艺》下载免费的PDF全文 |
|
