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具有可调谐频率结构的微机械装置与调谐方法

引用本文：	金妙.具有可调谐频率结构的微机械装置与调谐方法[J].自动驾驶仪与红外技术,1995(1):47-51.

作者姓名：	金妙

摘要：
关键词：	微机械装置谐振结构调谐振动支承
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