| 微型机械的未来展望 |
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| 引用本文： | 荣烈润.微型机械的未来展望[J].航空精密制造技术,2006,42(4):1-6. |
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| 作者姓名： | 荣烈润 |
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| 作者单位： | 上海静安区职工大学,上海,200040 |
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| 摘 要： | 介绍了微型机械未来的研究内容及发展趋势。
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| 关 键 词： | 微型机械 微流体力学 LIGA加工 |
| 文章编号： | 1003-5451(2006)04-0001-06 |
| 修稿时间： | 2006年2月22日 |
Look Forward to the Future of Micro Electro-Mechanical System |
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| RONG Lie-run.Look Forward to the Future of Micro Electro-Mechanical System[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2006,42(4):1-6. |
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| Authors: | RONG Lie-run |
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| Abstract: | Micro electro-mechanical system (MEMS) is the frontier field in high science and technology towards the 21st century. Future researching content and developing tendency of MEMS are introduced. |
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| Keywords: | micro electro-mechanical system microfluidics lithography galvanoformung abformung process |
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