| 大气状态下SPM纳米加工系统的开发 |
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| 引用本文： | 郭彤,胡晓东,胡小唐.大气状态下SPM纳米加工系统的开发[J].航空精密制造技术,2002,38(3):14-16. |
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| 作者姓名： | 郭彤 胡晓东 胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津,300072 |
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| 摘 要： | 商业化和大多数自制SPM开发和研制的目的主要是获得表面的信息,要想使它适合扫描探针加工的要求,必须对其进行一些必要的改进。本文讨论在DI公司多功能SPM基础上开发的纳米加工系统。
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| 关 键 词： | SPM 纳米加工 矢量法 |
| 文章编号： | 1003-5451(2002)03-14-03 |
| 修稿时间： | 2001年10月9日 |
Design and Development of SPM Nanometric Machining System in Atmosphere Status |
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| Guo Tong,Hu Xiaodong,Hu Xiaotang.Design and Development of SPM Nanometric Machining System in Atmosphere Status[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2002,38(3):14-16. |
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| Authors: | Guo Tong Hu Xiaodong Hu Xiaotang |
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| Abstract: | Main object of design and developmen t of most of commercialized and self-made SPM(scanning probe microscope)systems is to get surface informatio n.It must be improved to meet the requirement of matching scanning probe.The nanometric mach ining system developed on the basis o f multifunction SPM of DI company is discussed. |
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| Keywords: | scanning probe microscope nanometric machining vector |
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